真空蒸着用コイル
真空蒸着技術とは、真空中で金属の成膜材料を加熱して溶融・蒸発、または昇華させ、基材や基盤の表面に成膜材料を付着、堆積させる表面処理技術です。
加熱させる方法の一つに、タングステンに電流を流して発熱させる方法があり、当社はこの時に使用するタングステン線を種々の形状で提供します。
成膜材料としては、アルミニウム、金、銀、チタン、ニッケルなどがあり、意匠性、耐久性、密閉性などの向上を目的として実施されます。
■VMT-S：ストレート
腐食しやすいアルミニウムなどの金属材料を
蒸発させるのに適している、ストレート型タ
イプの製品
■VMT-S：ストレート山型
腐食しやすいアルミニウムなどの金属材料を
蒸発させるのに適している、ストレート（山
型）タイプの製品
■VMT-B：バスケット
粒状や厚板状の材料に適している、バスケッ
ト型タイプの製品
■VMT-H：ヘリカル
多くの量で蒸発させたり、蒸発速度を大きくした
い場合に、適しているヘリカル型タイプの製品
■イオンソース
半導体に使用され、金や貴金属などを飛ばすの
に適している、イオンソース型タイプの製品
■電子銃用EB：渦巻
カメラ、メガネのレンズの製造で電子ビームを
飛ばすのに使用される、渦巻型タイプの製品
